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A construção da mesquita iniciou-se em 1597, por ordem da valide sultan Safiye Sultan, a consorte principal do sultão Murad III e mãe de Mehmed III. O primeiro arquiteto foi Davut Aga, um aprendiz do grande mestre Mimar Sinan. Davut morreu em 1599, sendo substituído por Dalgic Ahmed Cavus.

O exterior ostenta dois minaretes e 66 e cúpulas e semicúpulas, num arranjo piramidal. A cúpula principal tem 36 metros de altura e é suportada por quatro semicúpulas. O desenho da cúpula foi baseado nas cúpulas das mesquitas de ?ehzade, de Sinan, e Mesquita Azul, de Sedefhar Mehmet A?a.



O interior da mesquita é quadrado, com 41 metros de lado. A área central é conformada por quatro grandes pilares que constituem o principal suporte da cúpula. Nas partes laterais e traseira há colunatas de colunas delgadas de mármore, ligadas por arcos de vários estilos. A cúpula tem 17,5 metros de diâmetro e uma altura de 36 metros. O espaço interior é ampliando com semicúpulas ao longo do eixo este-oeste do edifício, com cúpulas mais pequenas por cima uma dos cantos da nave ainda mais pequenas por cima dos cantos das galerias.

No canto nordeste da galeria existe uma divisória dourada atrás da qual os membros da corte imperial assistiam às orações. Este compartimento real está ligado do pavilhão real, situado a nordeste do complexo da mesquita, através de uma longa passagem elevada.

O interior da mesquita é decorada com azulejos de ?znik com cores principalmente azuis, verdes e brancos, os quais são considerados de qualidade algo inferior aos de mesquitas imperiais anteriores. O mihrab é decorado com estalactites douradas e o minbar tem uma cobertura cónica com colunas finas de mármore.

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